微信掃一掃 關注香蕉爱视频最新動態！等（děng）離子（plasma）是除（chú）固（gù）體、液體（tǐ）、氣體之外的第四種物質狀態，主要是由氣體（tǐ）在高電磁（cí）場作用下發生解離，形成一種包括電子（帶負電），正離子（帶正電），自由基和（hé）中性（xìng）氣體分子組成的高活性物質，通產情況下（xià）會（huì）發光。
一般情況下，等離子中的正電荷數等於（yú）負電荷數，所以整體呈電中（zhōng）性（Quasi-neutral）。日常生（shēng）活中見到的閃電、日光燈、霓虹燈就是等離子體發光現象（xiàng）。
等離子（zǐ）的產生有很多種方（fāng）法，但生成和維持都需要外部能量的（de）輸入。
電子從外加電磁場獲得能量，然後發生非彈性（xìng）碰撞產生激發（excitation）、解離吸附（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離（lí）子化（ionization）、在結合（recombination）反應，由此產生二次電子、原子、分子、離子等物質，然而在（zài）解離碰撞中，電子可能（néng）與（yǔ）氣體離子有再結合作用，或者因為（wéi）漂移及擴（kuò）散而離開電磁場範圍等原（yuán）因消失，因此當電子產生（shēng）與消失的速率相（xiàng）等（děng）時，此時的plasma即為穩定狀態。這裏（lǐ）列舉四種ETCH常用產生plasma的方法，後麵會詳解（jiě）介紹。
三、等離子體的參數 plasma parameters
平均自（zì）由路（lù）徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒子碰撞前能夠移動的平（píng）均距離。MFP與（yǔ）環境壓力P呈反比，壓力越高，MFP越短，壓（yā）力約低，MFP越長，這就是為什麽plasma產生要（yào）在低壓近似真空環境下產生，因為在大氣壓力下（760Torr），電子的MFP很短，很難獲得足夠的能（néng）力來使（shǐ）用（yòng）氣（qì）體離（lí）子化。