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現代真空(kōng)鍍膜機膜厚的測量及監控方法

作者: 來源: 日期:2016-01-12 16:12:17 人氣:112186
    最(zuì)直接的鍍膜控製方(fāng)法是石英晶體微量平衡法(QCM),這種(zhǒng)儀器可以直接驅動蒸發源,通過PID控製循環驅動擋板,保持蒸發(fā)速(sù)率。隻要將儀器與係統控製軟件相連接(jiē),它就(jiù)可以控製整(zhěng)個的鍍(dù)膜過(guò)程。但是(QCM)的(de)精確度是有限(xiàn)的,部分原因(yīn)是由於它監控的是被鍍膜的質(zhì)量而不是其光學厚度。
    此外雖然QCM在較低溫度下非常穩定(dìng),但溫度較高時,它會變得對(duì)溫度非常敏感。在長時間的加熱過程中,很難阻止傳感器跌入這個敏感區(qū)域(yù),從而對膜層造成重大誤差。
    光學監控是高精密鍍膜的的首選監控方式,這是因為(wéi)它可以更精(jīng)確地控製(zhì)膜(mó)層厚度(如(rú)果運(yùn)用得當)。精確度的改進源於很(hěn)多因(yīn)素,但最根本的原因是對光(guāng)學厚(hòu)度的監控。
    OPTIMAL SWA-I-05單波長光學(xué)監控係統,是采用間接測控,結合汪博士開發的先進光學監控軟件(jiàn),有效提高(gāo)光學反應對膜厚度變化(huà)靈敏度的理(lǐ)論和方法來減少終(zhōng)極誤差,提供了反饋或傳輸的選擇模式和大範圍的監(jiān)測波長。特別適合(hé)於各(gè)種膜厚的鍍膜監(jiān)控包括(kuò)非規整膜監(jiān)控。
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