真空鍍（dù）膜機是目前製（zhì）作真空條件應用最為廣泛的真空設備，一般（bān）用真空室、真空機（jī）組、電氣（qì）控製櫃三大工作原理。

真空主題--真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用最多的有直徑0.9M、1.3M，1.5M、1.8M等，腔體由不鏽鋼材料製作，要求不生鏽、堅實等，真空（kōng）腔各部分有鏈接閥，用來鏈接各抽（chōu）氣（qì）泵浦。

輔助抽氣係統：排氣係統為鍍膜機真空（kōng）係（xì）統的重要部分，主要有由機械（xiè）泵、增壓泵（主要介（jiè）紹羅茨泵）、油擴散泵三（sān）大部分組成，此排氣係統采用（yòng）“擴散泵+機（jī）械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組（zǔ）成”。

排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴散泵後續抽真空提供前提，之後當擴散泵（bèng）抽真空的時候，機械泵（bèng）又配合油擴散泵組成串聯（lián），已這樣的方式完（wán）成抽氣動（dòng）作。

 機（jī）械泵：也叫前級（jí）泵，機械泵是應用（yòng）最廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效（xiào）果並（bìng）依靠機械的方（fāng）法不斷的改（gǎi）變（biàn）泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內（nèi）氣體的體積不斷膨（péng）脹（zhàng）從而獲得真空。