真空鍍膜技(jì)術是(shì)真空應用技(jì)術的一個重要分支,它已廣泛地應用於光學、電子學、能源開發,理化儀器、建築機械、包裝、民用製品、表麵科學以及(jí)科學研究等領域中。真空鍍(dù)膜所采用的方法主要有蒸發鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。此外還有化學氣(qì)相沉積法。如果從真(zhēn)空鍍膜的目的是為了改變物質(zhì)表麵的物理、化學性能的話(huà),這一技術又是真空表麵處理技術中的重要組成部分,其分類如表 6 所(suǒ)示(shì)。現就其幾個主要應(yīng)用方麵做一簡單介紹。
首(shǒu)先在光學方麵,一塊光學玻璃或石英表麵上鍍一層或幾(jǐ)層不同(tóng)物質的薄膜後,即可成為高(gāo)反射(shè)或無反射(即增透膜)或者作任何預期比例的反射或透射材料,也(yě)可以作成對某種波長的吸收,而對另一種波長的(de)透射的濾色片。高反射膜從大口徑的天(tiān)文望(wàng)遠鏡和各種激光器開始、一直到新型建築物(wù)的大窗鍍膜茉莉,都很需要。增透膜則大量用(yòng)於照相和各種激(jī)光器開始、一直到新型建築物的大窗鍍(dù)膜玻璃,都很需要。增透膜則大(dà)量(liàng)用於照相機和電視攝象機的鏡(jìng)頭(tóu)上。
在電子學方(fāng)麵真空鍍膜更占有極為(wéi)重要(yào)的地位。各種規(guī)模(mó)的繼承電路(lù)。包括存貯器、運算器、告訴邏輯(jí)元件等都要采(cǎi)用導電膜、絕緣(yuán)膜和保護膜。作為製備電路的掩膜(mó)則用到鉻膜。磁帶、磁盤(pán)、半導(dǎo)體激(jī)光器,約瑟夫遜器件、電荷(hé)耦合器件( CCD )也都(dōu)甬道各種薄膜。
在顯示器件方麵,錄象磁(cí)頭、高密度錄象帶以及平麵顯示裝置的透明導電(diàn)膜、攝像管光導膜、顯(xiǎn)示(shì)管熒光屏的鋁襯(chèn)等也都是采用真空鍍膜法製備。在(zài)元件方麵,在真空中蒸發鎳鉻,鉻或金屬陶(táo)瓷可以製造電阻,在塑料上蒸發鋁、一氧化矽、二氧化鈦等可以製造電容器,蒸發硒可以得到靜電複印機用的硒鼓、蒸發(fā)鈦酸鋇可(kě)以製造(zào)磁致(zhì)伸縮(suō)的起(qǐ)聲元(yuán)件等等。真空蒸發還可以用於製造超導膜和慣性約束巨變反應用的(de)微珠鍍層。此(cǐ)外還可以對珠寶(bǎo)、鍾表外殼表麵、紡織(zhī)品金屬(shǔ)花紋、金絲銀絲(sī)線等蒸鍍裝飾用薄膜,以及采用濺射鍍或離子鍍對刀具、模具等製造超硬膜。近兩年內所(suǒ)興起的多弧離子鍍製備(bèi)鈦金製品,如不鏽鋼薄板、鏡麵板(bǎn)、包柱、扶手(shǒu)、高檔床托架、樓梯欄杆等目前正在盛行。