真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度（dù）下進行的鍍膜，具體包括（kuò）很多種類，包括真空離子蒸（zhēng）發，磁控濺射，MBE分子束（shù）外延，PLD激光（guāng）濺射沉積等很多種（zhǒng）。主要思（sī）路是分成蒸發和濺射兩種。真空鍍膜（mó）機是目前製作真空條件（jiàn）應用最為廣泛的設備，對其（qí）操作程序的了解是至關重要的環節，在真空鍍膜機的具體操作過程中（zhōng）建議參照（zhào）以下標注說明：

        一、 檢查真空鍍膜機各操作控製開關是否在"關"位置。

        二、打開總電源開關，設備送電（diàn）。

        三、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲（shēng）後，啟動升（shēng）鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固（gù）定鎢螺旋（xuán）加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內。清理鍾罩內各部位，保證無（wú）任何雜質汙（wū）物。

        五、落（luò）下鍾罩。

        六、啟動抽真空（kōng）機械泵。

        七、開複合真空計電源(複合真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區段的加熱位置。

               2）低真空表"2"內指針順時（shí）針移（yí）動，當指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置。

        八、當低真空表"2"內指針再（zài）次順時針移動（dòng）至6.7Pa時，低壓閥（fá）推入。這時左（zuǒ）旋鈕"1"旋轉至指向1區段（duàn）測量位置。

        九（jiǔ）、 真空（kōng）鍍膜機開（kāi）通（tōng）冷卻水，啟動擴散泵（bèng），加（jiā）熱40min。

        十、低壓閥（fá）拉出。重複一次⑦動作程（chéng）序:左下旋（xuán）鈕"1"轉（zhuǎn）至指向2區段（duàn）測量位置。低真空表"2"內指針順時針移動（dòng），當指針移動至6.7Pa時，開高（gāo）壓閥（fá）(閥杆順時針旋（xuán）轉)。

        十一、等低真空表"2"內指針右移動至0.1Pa時，開規管（guǎn）燈絲開關。

                1）發射（shè）、零點測（cè）量鈕"9"旋轉至指向發射位（wèi）置（zhì）。

                2）左下旋鈕"1"旋轉（zhuǎn）至指向1區段測量位置。

        十二、 旋轉發（fā）射調節鈕"4"，使高壓真（zhēn）空表"5"內指針（zhēn）指向5。

        十三、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

        十四、旋轉零點（diǎn）調節鈕"10"，讓高壓（yā）真空表"5"內指針指向0位置。

        十五、 發射、零點、測量（liàng）旋鈕"9"旋轉至指向測量（liàng）位置。

        十六、旋轉標準調（diào）節鈕"3"，讓高壓真空表"5"內指針指向10。

        十七、旋轉"倍加器"開關鈕"8"至指向10-12，當高壓真空表"5"內指針逆時針左移超過1時，再把（bǎ）"倍（bèi）加器"開關（guān）旋（xuán）鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十八、當高壓真空表"5"內指針逆時針移（yí）動超過（guò）6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關，鍾罩內被鍍件（jiàn）PVDF膜轉動（dòng）。

        十九、開蒸發鈕開關。把電流分插塞插入蒸發電極分（fèn）配孔內(設有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一孔)。

        二十、 右（yòu）手旋轉右（yòu）側調壓器手輪，慢慢旋轉升壓。

                  1）從視鏡窗口觀（guān）察鎢螺旋（xuán）加熱子（zǐ）的加熱溫度顏色變化（huà）情（qíng）況。

                  2）當鎢螺旋加熱子顏色變（biàn）成黃橙色，鋁絲（sī）開始熔化時，左手操作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋（dǎng）板。

                  3）鋁絲全部熔化蒸發，擋板回原位。

                  4）右手（shǒu）旋轉（zhuǎn）調（diào）壓器手輪回零位。第一（yī）次蒸鍍工作（zuò）完成。

        二十一、 如果再想蒸鍍一（yī）次(為了增加電極金屬層（céng）厚（hòu）度):把電流分插塞撥出插入另一個電極分配孔。重複⑳操作動（dòng）作。

        二十二、 關閉規管燈絲開關。關閉高壓閥(逆時針轉手柄)。關閉（bì）工件（jiàn）旋轉。關閉蒸發。旋轉機械泵鈕至指向擴散泵位置。

        二十（shí）三、 低壓（yā）閥拉出。鍾罩充氣。充氣一段時間，當沒有氣.聲時，升鍾（zhōng）罩。

        二（èr）十（shí）四、鎢螺旋加熱子內（nèi）加鋁絲。PVDF薄膜調換另一麵（miàn）向下（xià） (原下麵已（yǐ）鍍一層鋁膜麵向上)。緊（jǐn）固在（zài）轉動圓盤上。

        二十五、 落鍾罩。開機械（xiè）泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置 。

                    2）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測（cè）量（liàng）位置。

                    4）當低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時，開（kāi）高壓閥。旋鈕（niǔ）"1"旋轉至指（zhǐ）向2區段（duàn）測量位置。

                    5）當低壓真空表"2"內指針順時針（zhēn）移動到指向0.1Pa時，開規管燈絲。

                    6）由⑰開始重複操作（zuò）至⑳ 。

        二十六、 正常生產中，如遇到突然停電時，要立即切斷高真空測量，關閉規管燈絲，高壓閥、低壓閥拉出。來電後，先（xiān）讓機械泵啟動工作3~5min後，再轉入（rù）正常（cháng）生產。