磁控濺射膜常見故障的排除（chú）

膜層灰暗及發（fā）黑

(1)真空度低於 0.67Pa。應將真（zhēn）空度提（tí）高到 0.13-0.4Pa。

(2)氬氣純度低於 99．9％。應換（huàn）用純度（dù）為 99．99％的氬氣。

(3)充氣係（xì）統漏氣。應檢查充氣係統，排除漏氣現象。

(4)底漆未充分固化。應（yīng）適當延（yán）長底漆的固化時間。

(5)鍍件放氣量太大。應（yīng）進（jìn）行幹燥和封孔處理 膜層表麵光澤暗淡

(1)底漆固化不良或變質（zhì）。應適當延長底漆的固化時間或更換底漆。

(2)濺射時間太長。應適當縮短。

(3)濺射成膜速度太快。應適當降低濺射（shè）電流或（huò）電壓

膜層色澤不均（jun1）

(1)底漆噴塗得不均勻。應改進底漆的施塗方法（fǎ）。

(2)膜層太薄。應適當提高濺射速度或延長濺射時間。

(3)夾具設計不合理（lǐ）。應改進夾具設計。

(4)鍍件的幾何形狀太複雜。應適（shì）當（dāng）提高鍍件（jiàn）的旋轉（zhuǎn）速度

膜層發皺、龜裂

(1)底漆（qī）噴塗（tú）得太厚。應控製在 7—lOtan 厚度範圍內。

(2)塗料的粘度太高（gāo）。應適當降低。

(3)蒸發速（sù）度太（tài）快。應適當（dāng）減慢。

(4)膜層太厚。應適當縮短濺射時間。

(5)鍍件溫度太（tài）高。應適當縮短對（duì）鍍件的加溫時間

膜層表麵有水跡、指紋及灰粒

(1)鍍件清洗後未充分幹燥。應加強鍍前處理。

(2)鍍（dù）件表麵濺上水珠（zhū）或唾液（yè）。應加強文明生產，操作者（zhě）應帶口罩。

(3)塗底漆後手接觸過鍍件，表麵留下指紋。應嚴禁用手接觸鍍件表麵。

(4)塗料中（zhōng）有（yǒu）顆粒物（wù）。應過濾塗料或更換塗料。

(5)靜電除塵失效或噴塗和固化環境中有顆粒灰塵。應更換除塵（chén）器，並保持（chí）工作環境的清潔（jié）

膜層附著力不良

(1)鍍件除油脫脂不徹底。應加強鍍（dù）前處（chù）理。

(2)真空（kōng）室內不清潔。應清洗真空（kōng）室。值得注意的是，在裝靶和拆靶的（de）過程中，嚴禁用手 或不幹淨的物體與（yǔ）磁控源接觸，以保證（zhèng）磁控源具有較（jiào）高的清潔（jié）度，這是提（tí）高膜層結合力的 要措施之一。

(3)夾具不清潔（jié）。應清洗夾具。

(4)底塗料選用不當。應更換塗料。

(5)濺射工藝條件控製不當。應（yīng）改進濺射工藝條件