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鍍膜工(gōng)藝設計

作者: 來源: 日期:2020-11-23 11:28:29 人氣:12474

鍍膜工藝之設計應著重考慮不同薄膜材料之間需(xū)要不同的沉積工藝,

不同濺射技(jì)術的(de)實(shí)施(直流、中頻、射頻、脈衝、反應濺射,以(yǐ)及它們之間的結合而發展的(de)技術,或者新技術的(de)應(yīng)用等),

同種技術不同工藝參數的調整(功率,氣壓(yā),沉積(jī)方式等),前處理(清洗、預熱等),後處理(lǐ)(熱處理等)。

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