磁控濺射鍍膜(mó)是(shì)現代工業中不(bú)可缺(quē)少的技術之一,磁控濺射鍍膜(mó)技術正廣泛應用於透明導(dǎo)電膜、光(guāng)學膜、超硬膜、
抗腐蝕膜、磁性膜、增透膜、減反膜以及各種裝飾膜,在國防和(hé)國民經濟生產中的作用(yòng)和地(dì)位日益強大(dà)。
磁控濺射技術發展(zhǎn)過程中各項技術的突破一般集中在等離子體的產生以及(jí)對等離子體進行的(de)控製等方麵。
通過對電磁(cí)場、溫度場和空間不同種類粒子分布參數的控製,使(shǐ)膜層質量和(hé)屬性滿足各行業的要求。
膜厚均勻性與磁控濺射靶的工作狀態(tài)息息相關,如靶的刻蝕(shí)狀態,靶的電磁場(chǎng)設計等,
因此,為保證膜厚均勻性,國外的薄膜製備(bèi)公司或鍍膜設備製造公(gōng)司都有各自的關於鍍膜設備(包括核心部(bù)件“靶”)的整套設計方案。