質量（liàng）流量計，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一種精確（què）測量氣體流量的儀表，

其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不（bú）需（xū）要溫度壓力補償。

質量流量控製器，即Mass flow controller(縮寫為MFC），不但具有質量流量計（jì）的功能，

更重要的是，它能自動控製氣體流量，即用戶可根據需要進（jìn）行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定（dìng）值上，

即使（shǐ）係統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。

簡單地說，質量流量控（kòng）製器就是一個穩定裝置，是一個可以手動設定或與計算機聯接（jiē）自動控製的氣（qì）體（tǐ）穩流裝置。