低（dī）真空的獲得  

獲得低（dī）真空常采用機械泵，機（jī）械泵是運用機械方法不斷地改變泵內（nèi）吸氣空腔的體積，使被抽（chōu）容器內氣體的體（tǐ）積不斷膨脹，從而獲得真空的裝置。

它可以直（zhí）接在大氣壓下開始工（gōng）作，極限真空度一（yī）般（bān）為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉速及空腔體積V的大（dà）小有關，一般在每秒幾升到每秒幾十升之間。

高真空的獲得 

目前，廣（guǎng）泛使用的獲得高真空的泵就（jiù）是擴散（sàn）泵（bèng）。擴散泵是（shì）利用氣體擴（kuò）散現象來抽氣（qì）的，它不能直接在大氣壓下工作，而需要一定的預備真空度（1.33-0.133Pa）。

油擴散泵的極（jí）限真空度主要取決於（yú）油蒸汽壓和（hé）氣體分子的反擴散，一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣速率與結構相（xiàng）關，每秒幾升--幾百升不等。