物理蒸鍍就是把物質加熱揮發（fā），然後將其蒸氣沉積（jī）在預（yù）定的基材上。由於蒸（zhēng）發源須加熱揮（huī）發，又是在真空中進行，故亦稱為熱蒸鍍或（huò）真空蒸鍍。

其（qí）可分為三（sān）個步驟: 

(1)凝態（tài）的物質被加熱揮發成汽相  
(2)蒸汽在具空中移動一段距離至基材 
(3)蒸汽在基材上冷卻凝結（jié）成薄膜