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真空鍍膜機各部件以及原理分析

作者: 來源: 日期:2020-03-16 9:52:53 人氣:36920
真空鍍(dù)膜機的(de)真空腔體----根據加(jiā)工產品要求的差異,真空(kōng)腔體大小也不(bú)一(yī)樣,目前(qián)應用比較多的有直徑0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔體由不鏽鋼材料製作,要求不生(shēng)鏽、堅實,真空腔體各部(bù)分有(yǒu)鏈接閥,用來鏈接各抽氣泵浦。

真空鍍膜機的輔(fǔ)助抽氣係統:排氣係統為鍍膜真空係統的重要組成部分,機械泵、增壓泵/羅茨泵、擴散泵三大部分組成(chéng)。這個(gè)排氣係統為:擴散泵+機械泵+羅茨(cí)泵+低溫冷阱+polycold。排氣流(liú)程:機械泵先將真空腔抽至小於(yú)2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴散泵後續抽真空提供前提,之後當擴散泵抽(chōu)真空(kōng)的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方(fāng)式完成抽氣動作。

真空鍍(dù)膜機的(de)機械原理以及其分類:
機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用很(hěn)廣的一(yī)種低(dī)真空泵,它是用油來保持(chí)密封效(xiào)果並依靠(kào)機械的(de)方法不斷的改變泵內吸(xī)氣空(kōng)腔的體(tǐ)積,使被抽容器內氣體體積不斷膨脹從而獲得真空。
一.機(jī)械泵的分類:機械泵有(yǒu)很多種,常(cháng)用(yòng)的有滑閥式(主要用於(yú)大型設備),活塞(sāi)往複式,定片式和旋片式(此(cǐ)目前運用很廣)
二(èr).機(jī)械(xiè)泵是從大氣開始工作的,它的主要參數有極限真空、抽氣(qì)速率、此為(wéi)設計和選用(yòng)機(jī)械泵的重要依據(jù),單級泵可以將(jiāng)容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級泵可(kě)以將容器從大氣抽到6.7*10-2PA,甚至(zhì)更高。抽(chōu)氣速率是指旋片泵,按額定轉速運轉時,單位時間內所能排出氣體的體積,可用公式計算(suàn):Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截麵積,L表示(shì)空腔長度,係數表示轉子每旋轉(zhuǎn)一周(zhōu)有兩次排氣過(guò)程,Vs表示當轉子處於水平位置的時候,吸氣(qì)結(jié)束,此時空(kōng)腔內的體積較大,轉數為n。機械泵排氣的效果還與電(diàn)機的轉數以及皮帶的鬆緊度有關(guān),當電機的皮帶比較鬆,電機轉數很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以(yǐ)要經常保養,點檢,機械泵的密封效果也需要經常點檢,由過少(shǎo),達(dá)不到密封(fēng)效果,泵內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一般在油位(wèi)線下0.5厘米即可。
三.機械泵常常被用來抽除幹燥的空氣,但不(bú)能抽除含氧量(liàng)過高、有爆炸和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除長久性的氣體,但是對水氣沒有好的效果(guǒ),所以它不能抽除水氣。旋葉泵中起主要作用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子裏麵但(dàn)與定子不同心軸,像兩個內切圓,轉子槽(cáo)內裝有兩片彈片,兩片彈片中間裝有彈簧,保證了彈片緊(jǐn)緊貼在定子的(de)內壁。 
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