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真空鍍膜機的各部分組成及其工作(zuò)原理

作(zuò)者: 來源: 日期:2018-01-18 13:27:24 人氣:7356
真空鍍膜(mó)機是目前製作(zuò)真空條(tiáo)件應用最為廣泛的(de)真空設備,一般(bān)用真空室、真空機(jī)組、電氣(qì)控製櫃三大部分組成,排氣係統采用擴散泵(bèng)+機械泵+羅(luó)茨泵(bèng)+低溫冷阱+polycold組成。
下麵,詳細介紹真空鍍膜機的各部分組成及其工作原理(lǐ):
1、真空主體:真空腔根據加工產品要求的各(gè)異,真空腔的大小也不一樣,目前應用最多(duō)的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實等,真空腔各部分有連(lián)接閥,用來連接各抽氣泵浦。  
2、輔助抽氣係統:排氣(qì)係統為鍍膜機真空(kōng)係統的重要部分(fèn),主要有由機械泵、增壓泵(主要(yào)介紹羅茨泵)、油擴散泵三大(dà)部分組成。此排氣係統(tǒng)采用"擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold"組成。排氣流程為:機械泵先將真(zhēn)空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀(zhuàng)態,為擴散泵後(hòu)繼抽真空提供前提,之後當擴散泵抽真空(kōng)腔的時候,機(jī)械泵又配合油(yóu)擴散泵組成串聯,以這樣(yàng)的方式完成抽氣動作。 
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