真空電鍍設備膜厚的不均勻問題
作者: 來源: 日期:2017-10-25 16:07:52 人(rén)氣(qì):4879
無論監(jiān)控儀精(jīng)度怎樣(yàng),它也隻能控製真空室裏單點位置的膜厚,一般(bān)來講是工件架的中間位置。如果真空電鍍設備(bèi)此位置的膜厚不是絕對均勻的,那麽遠離中心位置的基片就(jiù)無(wú)法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現為(wéi)長期的不均勻性(xìng),但有些膜厚(hòu)度的(de)變化是由蒸發源的不穩定或(huò)膜材的不同表現而引起的,所以幾乎(hū)是不可能消除的(de),但對真空室的結構和蒸發(fā)源的恰當選擇可以(yǐ)使這些影響最小化。
在(zài)過去幾年中,越來越多的用(yòng)戶要(yào)求鍍膜係統製造(zào)廠家(jiā)提供高性能(néng)的小規格、簡便型光學鍍(dù)膜係統,同時,用戶對性能的要求不僅沒有降低,反而有所提高,特別是在薄膜密度和保證吸水後光譜變化最小化等方麵。
現在,係統的平均尺寸規格已經在降低,而應用小規格(gé)設備進行光學鍍膜的生產也已經轉變(biàn)成為純技術問題。因此(cǐ),選用現代化光學鍍膜(mó)係統的關鍵取決於對以下因素的認真考慮:對鍍(dù)膜產品的預期性能,基片(piàn)的尺寸大(dà)小和物理特性(xìng)以及保證高度一致性工(gōng)藝所必需的所有技(jì)術(shù)因素。