1、真空鍍膜設備每完成200個鍍（dù）膜程（chéng）序以上，應清潔工作室一次。方法是:用燒堿(NaOH)飽和溶液反複擦洗真空室內壁，( 注意（yì）人體皮膚不可（kě）以（yǐ）直接接觸燒堿（jiǎn）溶液（yè），以免灼傷)目的是使鍍上去的膜料鋁(AL)與NaOH發生反應，反應（yīng）後（hòu）膜層脫（tuō）落，並釋放（fàng）出氫氣。再用清水清洗（xǐ）真空室（shì）和用布沾汽油清洗精抽閥內的汙垢。
2、當粗抽泵(滑閥泵，旋片（piàn）泵)連續工作一個月（yuè）(雨季減半)，需更換新油。方法是:擰開放（fàng）油螺（luó）栓，放掉舊油，再將（jiāng）泵啟動數秒，使泵（bèng）內的（de）舊油完全排放出來。擰回放油螺栓（shuān），加入新油（yóu）至額定量(油視鏡觀察)。連續使用半年以上，換油時應將油蓋打開，用布擦幹淨箱內汙（wū）垢。
3、擴散泵連續（xù）使用6個月以上，抽速明顯變慢，或操作失當，充入大氣，拆去聯結水管，卸下電爐盤，將一級噴（pēn）嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水（shuǐ）清洗一遍，然後（hòu）用清水徹底清洗幹淨，待水份揮發幹（gàn）以後，裝好泵（bèng）膽，加入新擴散泵油，並裝回機體（tǐ），接（jiē）好水管，裝好電爐盤，便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。方法是:啟動維持泵，關好大門，數分鍾後，觀察擴散泵（bèng）部分（fèn）真空度是否達到6X10帕，否則要進（jìn）行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈（quān），或壓壞密封圈。排（pái）除漏氣隱患後方可加熱，否則擴散泵油會燒環，無法進入工作狀（zhuàng）態。

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