油擴散泵的應用壓強範圍是10-1帕-10-7帕（pà），它是利（lì）用氣體的擴散現象（xiàng）來排氣（qì）的，它具有結構簡單，操作方便，抽速大（最高可以達到（dào）10+5升/秒）等特點。油擴（kuò）散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱器組成，裏麵主要添加擴散泵（bèng）油（日本的型號（hào）是D-704#），根（gēn）據噴嘴的多少可以（yǐ）分為單級泵和多級泵。 

        擴散泵底部內儲存有擴散泵油，上（shàng）部（bù）為進（jìn）氣口（kǒu），右側旁下部為出氣口，在工作時出氣口由機械（xiè）泵提供前置壓強，機械（xiè）泵充當（dāng）前置泵。 

        當擴散泵的油被電（diàn）爐加熱時，產生（shēng）的油蒸汽提供前置壓強，機械泵充當前置（zhì）泵（bèng）。當擴散泵（bèng）油被電爐（lú）加熱（rè）時，產生的油蒸汽沿著導（dǎo）流管經傘（sǎn）形噴嘴向下噴出。因噴嘴外麵有機械泵提供的（de）1-10-1帕的真（zhēn）空，故油蒸汽可噴出一（yī）段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流最後碰上由冷卻水冷卻的泵壁，凝結為液體，流回蒸發器，即靠油的蒸發——噴射——凝結，重複循環來實現抽氣（qì）的。 

         由進氣口進入泵內的氣體分子，一旦落入蒸汽流中，便獲得向下運動的動量，向下飛去，由（yóu）於射（shè）流具有高的流速（約200米/秒（miǎo）），高的蒸汽密度，且擴散泵油具有高的分子量（300-500）故能有效的帶走氣體分子，因此在射流的界麵內，氣體分子不可（kě）能長期滯留，且在射流界麵的兩邊，被抽氣體有很大的濃（nóng）度差，正是因為這個濃度差被抽氣體能不斷的越過界（jiè）麵（miàn），擴散進入射流中，被帶（dài）往出口處，在出口處再由機械泵抽走。 

         擴散泵的油蒸汽壓是（shì）決定泵的極限真空（kōng）的重要因素，因此盡量選用飽和蒸汽壓低（dī）的泵油，其化學特性要好。 

         擴散泵不能（néng）單獨用來抽氣，一般（bān）要求（qiú）泵的最大出口壓強為40帕（pà）。擴（kuò）散泵的抽速決定（dìng）於第一級噴嘴與泵體進氣口口徑（jìng）間環形麵積的（de）大小（xiǎo），抽速不（bú）是一恒定的值，而（ér）是（shì）隨著進氣口的壓強而變化的，當壓強在10-2～10-3帕的時候，擴（kuò）散泵的抽氣速度是最快的，當壓強小（xiǎo）於5*10-4帕之後，擴散（sàn）泵（bèng）的（de）抽氣速度最小，幾乎沒（méi）有抽氣能力（此時，進氣口（kǒu）的壓（yā）強較高，由於空氣的密度較大，使蒸汽流形成不了高速射流以阻擋空氣（qì）的反擴散，所以抽速下降（jiàng））。 

        擴散（sàn）泵在安裝前要清洗（xǐ），之後才可以裝入擴散油，油在加熱前，必須要先對泵抽真空，停（tíng）機前要先（xiān）將擴散泵油冷（lěng）卻（què）到60～70攝氏度，才可以關閉前級抽氣，最後關冷卻（què）水。 

       由於油擴散（sàn）泵是無法杜絕有返油的幾率，那麽沒有辦法（fǎ）保證精密產品的100％純淨，特別是（shì）半導體行業，所以就（jiù）有“高真空冷凝（níng）泵＋低真空機械泵”所組成的無油真空係統，冷凝（níng）泵組成的排（pái）氣（qì）係統不僅排氣效率極高，而且有效保證真空腔的清潔，保（bǎo）證產（chǎn）品的質量（liàng）（避免產品被（bèi）汙染、增強膜層與（yǔ）基板之間的附著力），但是其（qí）維護成本非常（cháng）的高，造價昂貴，所以普及率（lǜ）沒有油擴散泵廣泛。 

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