為盡量減（jiǎn）小真空鍍膜機真空室形變帶來的影響，我們將導軌、絲杆等傳動件固定於一個剛性的中間層上，其（qí）與真空室底壁之間采用點、線、麵活性支撐，以吸收和隔離形（xíng）變，並設置形變補償調節機構，在係統（tǒng）抽真空前，參照有限元計算提供的理論數據預設適當（dāng）的補償量（liàng），以使其在真空狀態下達到平衡。而這樣的真空設計也使得現在的真空鍍膜機就能夠讓鍍膜在（zài）真空環（huán）境下正常（cháng）進行，防止（zhǐ）外界因（yīn）素的影響。
    而為了驗證有（yǒu）限元計算的結果，對真空室的形變和補（bǔ）償進行了測試。首（shǒu）先將四隻千分表（biǎo）定位在工（gōng）作台（tái）安裝基點的真空壁外側，當（dāng）真空室由大（dà）氣抽（chōu）到真空時，記錄各千分表的變化量，經歸一化處理後為用激光自準直儀調整形變補償（cháng）。由（yóu）水平調整的自準直儀發出一束激光穿過真空室的玻（bō）璃窗照射固定於工作台上的反射鏡，在大氣環境下調整形變補償調節機構，使反射光束進入自準直儀接收視（shì）場（chǎng），記錄（lù）兩維角度偏差。這些數據之後需要對其進（jìn）行分析處理，得（dé）到測試結果。

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