工作原理(lǐ)
應(yīng)用(yòng)範圍
產品(pǐn)特點
技術參數表
HL係列多弧離子真(zhēn)空鍍膜機 | |||||||
型號 | HL-600 | HL-800 | HL-1000 | HL-1200 | HL-1400 | HL-1500 | HL-1600 |
真空室尺(chǐ)寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空(kōng)機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴(kuò)散泵機組 | KT500擴散泵機(jī)組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 專用多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧靶(可選(xuǎn)配) | ||||||
輔助鍍膜係統(tǒng) | 低溫離子輔助(zhù)源(yuán)(除工具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計(jì) |
控製方式 | 手動或全自動 | 手動或(huò)全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa | 5X10-4Pa |
備注(zhù) | 以上設備(bèi)參數(shù)僅做參考,具體均按客戶實際(jì)工(gōng)藝要求設計(jì)訂做 |