工作原(yuán)理
應用範圍
產品特點
技術(shù)參數表
HLB係列大型(xíng)板材管材真空鍍(dù)膜機 | |||||||
型號 | HLB-1800 | HLB-2000 | HLB-3000 | HLW-2000 | HLW3000 | HLW-4000 | HLW-5000 |
真空室尺(chǐ)寸 | Φ1800×2000MM | Φ2000×2000MM | Φ3000×3000MM | Φ2000×6000MM | Φ3000×6000MM | Φ4000×8000MM | Φ5000×10000MM |
真空機組 | 雙KT800擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴(kuò)散泵機組 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*2套 | 雙KT1000擴散泵機組*4套 |
鍍膜係統 | 專(zhuān)用(yòng)多弧鍍膜電源+多功能孿生磁環弧靶+柱形弧(hú)靶(bǎ)(可選配) | ||||||
輔助鍍膜係統 | 低(dī)溫(wēn)離子輔助源(除工具鍍外無需加溫係統) | ||||||
充氣係統 | 質量流量計 | ||||||
控製方式 | 手動或全自動(dòng) | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極(jí)限真空 | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa | 5.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備(bèi)參數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實際工(gōng)藝要求(qiú)設計(jì)訂做 |