SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機

日(rì)期:2016-01-13 10:14:16 人氣:25188
SF係列電子束蒸發光(guāng)學真空鍍膜機

工作原理

電子束蒸發是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱,使膜材中的原子或(huò)分子從表麵汽化逸出後入射到基片表麵凝(níng)結成膜。電子(zǐ)束蒸發比一般(bān)電阻加熱蒸發熱效(xiào)率高、束流密(mì)度大(dà)、蒸發速度快,製成的(de)薄膜純度高。

應用範圍

光學鍍(dù)膜(mó)設(shè)備可鍍製層數較多的短波通、長波通、增透膜、反射膜(mó)、濾光膜、分光(guāng)膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜係,能夠實現0-50層膜(mó)的膜係鍍膜,也能滿足如汽車反光(guāng)玻璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍(dù)膜要求。配置不同的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀可(kě)鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物及其他(tā)高熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學(xué)鍍膜配(pèi)備有(yǒu)石英晶體(tǐ)膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯合實現對(duì)整個工作過程的自動(dòng)控製,工作效率和(hé)產品質量重複性一致性優良.
2)適用(yòng)於光學領域行業,大規模工業生產要求(qiú)的廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機組KT500擴散泵(bèng)機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵(bèng)機組雙KT630擴散泵(bèng)機組(zǔ)KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強控製儀(yí)
控製方式手動或半自動
膜厚監控係統石英晶體膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上設備參數僅做參考(kǎo),具體均按客(kè)戶實際工藝要求(qiú)設計訂做
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